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奥坤鑫:低温等离子体技术应用研究进展
2016.05.21
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  【奥坤鑫 OKSUN】等离子体作为物质存在的第四态不仅已为人们所认识,而且等离子体技术已进入广泛的实际应用领域。等离子体指部分或完全电离的气体,且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消,宏观上呈现中性电。
 
  国际上将等离子体分为热等离子体和冷等离子体。热等离子体的电离率接近100%,电子和离子温度相当,属于热平衡等离子体。如等离子体弧、火箭发动机的等离子体射流,热核聚变等离子体。冷等离子体的电离率很低,电子温度远大于离子温度,属于非热平衡等离子体。
 
  【等离子喷枪】国内学者将等离子体划分成三类:高温等离子体(热核聚变等离子体);热等离子体(等离子体弧、等离子体炬等);冷等离子体(低气压交直流、射频、微波等离子体以及高气压介质阻挡放电、电晕放电、RF放电等)。而把热等离子体和冷等离子体归纳到低温等离子体中。从物理学的角度划分,笔者倾向于将热平衡态等离子体归为一类。
 
  低温等离子体的电离率较低,电子温度远高于离子温度,离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体。低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子,比通常的化学反应所产生的活性粒子种类更多、活性更强,更易于和所接触的材料表面发生反应,因此它们被用来对材料表面进行改性处理。与传统的方法相比,等离子体表面处理具有成本低、无废弃物、无污染等显着的优势。【卷对卷等离子处理设备

 
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