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奥坤鑫:浅谈关于等离子蚀刻基材表面
2016.09.21
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  【等离子清洗机】等离子蚀刻基材表面:
 
  在等离子蚀刻过程中,通过处理气体的作用,被蚀刻物会变成气相。处理气体和基体物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理气体覆盖,从而达到蚀刻的目的(如下图所示)。
 
  在线路板的生产中,等离子蚀刻主要用来对基材表面进行粗化,以增强镀层与基材的结合力。在下一代较为先进的封装技术??化学镀镍磷制作埋嵌电阻工艺研究中,等离子蚀刻能够对FR-4或是PI表面进行粗化,从而增强FR-4、PI与镍磷电阻层的结合力。
 
  化学镀镍磷制作埋嵌电阻工艺有以下六个主要工艺步骤:
 
  (1)使用传统的生产工艺方法制作出所需的线路图形;
 
  (2)使用等离子体蚀刻对基材表面进行粗化;【真空等离子设备
 
  (3)然后对使用钯活化的方法对基材表面活化;
 
  (4)进行贴干膜、曝光显影,把需要制作电阻的地方显影出来;
 
  (5)紧接着使用化学镀镍磷的方法进行埋嵌电阻的制作;
 
  (6)最后,退去干膜。
 
  通过实验研究可知,通过等离子处理的基材表面电阻层的结合力更好。特别是需要在PI基材上进行埋嵌电阻的制作时,等离子处理的效果更好。并且使用等离子处理过的基材表面具有一定的活化官能团,从而有助于制作埋嵌电阻的化学反应。
 
  可知,经过等离子处理的基材表面,在经过退膜工序后,镍磷电阻层与基材表面的结合力完好无损;而没有经过等离子处理的基材表面,在经过退膜工序后,镍磷电阻层不能与基材很好的结合,电阻层几乎全部脱落。【常压等离子设备


 
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