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奥坤鑫:高频等离子体发生器及其应用工艺的特点
2016.10.24
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  【真空等离子设备】高频等离子体发生器及其应用工艺有以下新特点:
 
  ①只有线圈,没有电极,故无电极损耗问题。发生器能产生极纯净的等离子体,连续使用寿命取决于高频电源的电真空器件寿命,一般较长,约为2000~3000小时。
 
  在等离子体高温下,由于参加反应的物质不存在被电极材料污染的问题,故可用来炼制高纯度难熔材料,如熔制蓝宝石、无水石英,拉制单晶、光导纤维、炼制铌、钽、海绵钛等。
 
  ②高频等离子体流速较低(约0~103米/秒),弧柱直径较大。近年来,已广泛应用于实验室,便于作大量等离子体过程试验。【等离子Plasma
 
  工业上制备金属氧化物、氮化物、碳化物或冶炼金属时,反应物在高温区停留时间长,使气相反应很充分。
 
  根据电源与等离子体耦合的方式不同,高频等离子体炬可分为:电感耦合型、电容耦合型、微波耦合型和火焰型。
 
  高频等离子体炬由三部分组成:高频电源、放电室、等离子体工作气供给系统。后者除了供轴向工作气外,还像电弧等离子体炬气稳弧一样,切向供入旋转气流以冷却并保护放电室壁(通常用石英或耐热性较差的材料)。【等离子处理机



 
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