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奥坤鑫:简要谈谈低气压等离子体发生器
2016.10.27
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  【等离子Plasma】低气压等离子体发生器是一种低气压气体放电装置,一般由三部分组成:产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气(或反应气)供给系统。
 
  通常有四类:静态放电装置、高压电晕放电装置、高频(射频)放电装置(有3种类型)和微波放电装置。把被处理的固体表面或需要聚合膜层的基体表面置于放电环境中,由等离子体处理。
 
  由于低气压等离子体为冷等离子体,当气压为 133~13.3帕左右时,电子温度高达10000开,而气体温度只有300开,既不致烧坏基体,又有足够能量进行表面处理。【等离子表面刻蚀
 
  低气压等离子体发生器已日益广泛应用于等离子体聚合、制备薄膜、刻蚀、清洗等表面处理工艺中。
 
  成功的例子如:在半导体制作工艺中,采用氟里昂等离子体干腐蚀,用离子镀法在金属表面生成氮化钛膜等。
 
  70年代以来,低气压等离子体对非金属固体(如玻璃、纺织品、塑料等)的表面处理及改性技术也有迅速发展。【等离子处理机



 
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