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等离子设备中什么是等离子体发光?
2023.08.11
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等离子体一般是在高压或高温的气体中产生,当等离子设备中的等离子体里面的粒子能量达到一定程度后就会发光,此时电压或温度一般较高。纯氧1也可以说等离子体是在真空状态下产生,激发等离子体一般可以是直流、射频、微波等,要确定是否是等离子体辉光,具体要看产生辉光的环境!在这些情况下激发所产生的就是等离子体发光了。本文章来源深圳奥坤鑫等离子设备专业厂家-您的制程问题解决专家

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