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真空等离子清洗机在OLED领域的应用
2024.02.29
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真空等离子清洗机在OLED领域的应用:

  1. 基板清洗:OLED的基板通常是由玻璃或其他透明材料制成,表面必须非常干净,以确保后续工艺的质量。真空等离子清洗机能够有效地去除基板表面的有机残留和微粒,为后续的涂层和薄膜沉积提供干净的基底。

  2. 薄膜沉积前的准备:OLED器件中,多层薄膜的沉积是关键。每一层薄膜的质量和界面特性都直接影响到器件的性能。等离子清洗可以在薄膜沉积前,清洁和活化表面,从而提高薄膜的附着力和均匀性。

  3. 修复表面损伤:在生产过程中,基板表面可能会因为各种原因而产生微小的损伤。真空等离子清洗机不仅可以去除这些损伤表面的污染物,还可以通过其能量输入,使表面得以修复,恢复其原有的平滑度和光学特性。

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真空等离子清洗机

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