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PR24L/40L等离子清洗机
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编号 内容 规格参数
1 机台整机规格 PR24L :650(W)×1240(H)×580(D)mm PR40L: 750(W)×550(H)×650(D)mm
2 真空室规格 PR24L :进口铝 600(W)×600(H)×600(D)mm PR40L:进口铝 350(W)×300(H)×400(D)mm
3 电极板规格 PR24L,6层平板式电极板( 240(W)×270(D)mm) PR40L,8平板式电极板(330(W)×315(D)mm)
4 控制系统 触摸屏+PLC控制
5 真空测定系统 皮拉尼电阻式真空计
6 气体计量系统 精确质量流量控制计 MFC
7 气体路数 2—5路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2
8 等离子发生器 0-1KW等离子体发生源(40KHz,可选13.56MHz)
9 工作气体 2路工作气体可选:Ar2、N2、H2、O2
特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支撑。

用 途:适用于摄像头及行业,手机制造、半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。
1、印制线路板行业:高频板表面活化,多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清洁、去钻污,软板补强前活化。
2、半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗;
3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
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