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在线式真空等离子设备 PR-OL05-LR
特点:
1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动,有效保证精度,降低尘污;
2、真空腔内置3条轨道,可一次处理3片物料, UPH可达180载板/小时;
3、所有运动机构均采用成熟运动方案,设备稳定性及故障率得以有效控制。
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编号 内容 规格参数
1 整机规格 1500*2000*2150mm(包含FFU及报警指示灯等)
2 单次处理数量 3片载板
3 腔体轨道长度 380mm
4 腔体轨道宽度兼容范围 100-248mm
5 腔体内尺寸 974*400*65mm
6 设备产能 180载板/小时
7 CT 60秒
8 LOAD&UNLOAD 不具备
9 扫码 进出扫码载具二维码
10 净化防护 百级FFU净化过滤系统
特点:
1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动,有效保证精度,降低尘污;
2、真空腔内置3条轨道,可一次处理3片物料, UPH可达180载板/小时;
3、所有运动机构均采用成熟运动方案,设备稳定性及故障率得以有效控制。

用 途:IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗
在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平。
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