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在线式真空等离子设备-PR-IL05-S
PR-IL05-S
特点:
1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动,有效保证精度,降低尘污;
2、真空腔内置2条轨道,可一次处理2片物料, UPH可达90拼板/小时;
3、所有运动机构均采用成熟运动方案,设备稳定性及故障率得以有效控制。
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编号 内容 规格参数
1 整机规格 L1300mm*W1300mm*H2200﹢50/﹣30mm(包含FFU及报警指示灯等)
2 进出料方式 流水线全自动进出料
3 放电结构 真空容式辉光放电
4 处理温度 ≤50℃
5 单次处理载板数 2片
6 载板最大尺寸 (170-270)*(65-85)*(1-5)mm
7 设备产能 理论值≥90载板/小时(依据plasma处理时间15秒计算)
8 净化防护 百级FFU净化过滤系统
特点:
1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动,有效保证精度,降低尘污;
2、真空腔内置2条轨道,可一次处理2片物料, UPH可达90拼板/小时;
3、所有运动机构均采用成熟运动方案,设备稳定性及故障率得以有效控制。

用 途:IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗
在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平。
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