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PM120L/PM180L等离子处理机
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编号 内容 规格参数
1 机台整机规格 PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm
PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
2 真空室规格 550(W)×635(H)×535(D)mm
3 电极板规格 PM120L: 10层平板式电极板(470(W)×410(D)mm)可定制
PM180L: 10层平板式电极板(530(L)×400(W)mm)可定制
4 控制系统 触摸屏+PLC控制
5 真空测定系统 皮拉尼电阻式真空计
6 气体计量系统 精确质量流量控制计 MFC
7 气体路数 2—5路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2
8 等离子发生器 500W&1KW等离子体发生源,40KHz(可选13.56MHz)
9 工作气体 2路工作气体可选:Ar2、N2、H2、O2
特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支撑。

用 途:适用于摄像头及行业,手机制造、半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。
1、摄像头、指纹识别行业:软硬结合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清洁;
2、半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗 ;
3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
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