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PM175L真空等离子清洗机
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编号 内容 规格参数
1 机台整机规格 1400(W)×1720(H)×1100(D)mm
2 真空室规格 550(W)×635(H)×535(D)mm
3 电极板规格 进口铝电极532(L)×412(W)mm
4 控制系统 触摸屏+PLC控制
5 真空测定系统 皮拉尼电阻式真空计
6 气体计量系统 精确质量流量控制计 MFC
7 气体路数 2路进气,1路放空
8 等离子发生器 500W&1KW等离子体发生源,40KHz(可选13.56MHz)
9 工作气体 2路工作气体可选:Ar2、N2、H2、O2
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